1、在放電過程中，電子從電場(chǎng)中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動(dòng)能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團(tuán)，當(dāng)污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。
  2、光氧催化包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，同時(shí)產(chǎn)生的大量OH、HO、O等活性自由基和氧化性極強(qiáng)的O，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成無害產(chǎn)物。
  3、物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場(chǎng)作用下，顆粒污染物被集塵極收集。

  4、生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機(jī)理為：等等離子體中的正負(fù)粒子使微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于其細(xì)胞膜表面張力，致使細(xì)胞膜遭到破壞而導(dǎo)致微生物死亡。
  5、在放電過程中，電子從電場(chǎng)中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動(dòng)能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團(tuán)，同時(shí)空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產(chǎn)生大量的新生態(tài)氫、活性氧和羥基氧等活性基團(tuán)，這些活性基團(tuán)相互碰撞后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)。從等離子體的活性基團(tuán)組成可以看出，等離子體內(nèi)部富含極高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)轉(zhuǎn)化為CO2和H2 O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。

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